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高純氣體供應系統主要有三種：現場制氣，管道輸送供氣；外購液態氣體，氣化后管道輸送供氣；外購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶（組）供氣。

具體某個工程，采用何種方式，主要根據工廠的生產規模及氣體耗量/用氣質量，以及工廠所在城市或區域的氣體市場供應等因素經過技術經濟比較后確定。

1、現場制氣，管道輸送供氣系統

這種系統適合用氣量大，用氣品種較多的工廠內。若制氣設備的氣體純度不能滿足要求時，可在制氣車間或者用戶入口增設純化設備。液態儲罐作為系統備用部分，在高峰負荷時作尖峰調節，低負荷時（制氣設備停車）維持管道系統壓力之用。

2、外購液態氣體，氣化后管道輸送供氣

比較普遍采用這種供氣方式。供應商負責輸送全過程，專用低溫液體槽車運送，直至把低溫液體輸入用戶儲罐內。

3、氣瓶鋼瓶組供氣系統

一般氣作用量很小時，采用這種系統為了不間斷供氣，一般需要不少于2瓶切換。在一些大氣量用戶，也有采用這種供氣方式的，但是小鋼瓶不適用了，該用集裝鋼瓶組或長管鋼瓶車，特別是一些大的供氣系統采用比較多。

綜上所述，對于某一用氣工廠，通常會采用其中一種或多種方式，實際使用時，應根據工廠及周邊的具體情況進行技術經濟比較后選擇，既要確保供氣質量，管理運行方便，又要降低成本，做到安全，可靠，經濟。