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1. 選用氮氣吹掃工藝氣體介質管道，應保證足夠的氣量，使吹掃氣體流動速度大于正常操作的流速，***小不低于20m/s。
2. 高純氣體管道吹掃氣源壓力一般要求為0.6-0.8MPa，可適當提高壓力，但不要高于其管道操作壓力。低壓管道和真空管道可視情采用0.15-0.20MPa的氣源壓力吹掃。
3. 道及系統吹掃，應予先制訂吹掃方案。它通常包括：編制依據、吹掃范圍、吹掃氣源、吹掃應具備的條件、臨時配管、吹掃的方法和要求、操作程序、吹掃的檢查驗收標準、吹掃中的安全注意事項及吹掃工器具和靶板等物資準備等。
4. 應將吹掃管道上安裝的所有儀表測量元器件處閥門關閉或拆除，防止吹掃時流動的臟雜物將儀表元器件損壞。同時，還應對調節閥采取適當的保護措施相近能力的氣源連續提供吹掃空氣。吹掃氣源的取得是以利用裝置提供氣源是快速完成系統吹掃的***好方法。吹掃時可多個吹掃口同時進行，這有利于縮短系統吹掃時間。