氣體管路要求：
所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管（BA級(jí)）組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。?
氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。?
易燃?xì)怏w，如乙炔需要和其他氣體分開單***引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。?
壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單***的閥門隔離，以方便對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。???高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。?
??每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單***的控制閥、減壓閥和壓力表。?
???引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單***的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。???每隔1米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。?
??不銹鋼管件在現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個(gè)系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮?dú)膺M(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度。
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